氧化铝陶瓷手指
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氧化铝陶瓷手指是半导体设备上使用的陶瓷配件,氧化铝陶瓷机械手臂。主要制作材料是95-99.9%氧化铝陶瓷,用于抓取搬运晶圆芯片,在机器上相当于人类的手指。
高纯度的氧化铝陶瓷手指具有良好的物理性能,如硬度高,耐磨性高。它还具有良好的耐热性能、优良的机械强度,在高温环境仍具有良好的绝缘性和良好的抗腐蚀性。
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